a. 硅中介层(Silicon Interposers)是目前唯一需要采用硅通孔(Through-Silicon Via,简称 TSV)的中介层类型。硅通孔是一种垂直电气连接结构,可贯穿硅芯片或硅晶圆。硅中介层采用的技术已较为成熟,市场化应用已超过十年,但硅材料成本较高,且需要先进的前端工艺与制造能力支撑。目前,台积电的 CoWoS-S(Chip on Wafer on Substrate,晶圆上芯片再覆基板)技术在该领域占据市场主导地位。
b. 硅桥(Silicon Bridges)属于相对较新的技术。与传统硅中介层相比,硅桥使用的硅材料更少,因此厚度更薄,有助于降低功耗并提升设计灵活性。其核心优势在于支持更先进的系统级集成,因此常用于人工智能(AI)等高性能计算(HPC)场景。代表性技术包括英特尔(Intel)的嵌入式多芯片互连桥(EMIB)和台积电的 CoWoS-L 技术。
c. 重新布线层(RDL)也可作为中介层使用。该技术的最大优势在于:制作重新布线层的光刻工艺(Photolithography)可实现精细的线路图案,从而提升速度增益与散热效率。目前,台积电的 CoWoS-R(基于重新布线层的晶圆上芯片再覆基板)技术已准备进入量产阶段。
d. 玻璃中介层(Glass Interposers)作为下一代中介层材料正在兴起。玻璃材料具有成本低、高频带宽下功耗损失小的优势,但短期内可能难以实现市场化应用。
2. 3D 堆叠(3-D Stacking)
3D 堆叠技术将多个芯片面对面朝下堆叠(无论是否使用中介层),主要分为两种类型:
a. 带微凸点(µ-bumps)的硅通孔(TSV)技术是目前最常见的 3D 堆叠类型。
b. 无凸点混合键合(Bumpless Hybrid Bonding)技术属于较新的替代方案。该技术通过介质键合(Dielectric Bond)和嵌入式金属实现芯片间互连,目前仅有存储领域的厂商在对其进行探索。